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TFT显示屏制造工艺流程

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  • 发布时间:2022-03-29 14:17
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【摘要】:TFT显示屏是通过什么样的制造技术在显示器上发挥着巨大的优势呢? 那么,下面一起了解下TFT显示屏制造工艺流程吧!

TFT显示屏制造工艺流程

【概要描述】TFT显示屏是通过什么样的制造技术在显示器上发挥着巨大的优势呢? 那么,下面一起了解下TFT显示屏制造工艺流程吧!

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  TFT显示屏是通过什么样的制造技术在显示器上发挥着巨大的优势呢? 那么,下面一起了解下TFT显示屏制造工艺流程吧!

TFT显示屏

  一、TFT显示屏面板模块制造工艺有以下部分
  1、在TFT基板上形成TFT阵列;
  2、在滤色器基板上形成滤色器图案及ITO导电层;
  3、用两片基板形成液晶单元;
  4、外围电路的安装、背光等模块组装。

  二.在TFT基板上形成TFT阵列工艺
  TFT显示屏的制造工艺如下。
  1、先在硼硅玻璃衬底上溅射栅极材料膜,通过掩模曝光、显影、干法刻蚀后形成栅极布线图形。 一般的掩模曝光用光刻机。
  2、采用PECVD法连续成膜,形成SiNx膜、未掺杂a-Si膜、磷掺杂n a-Si膜。 然后,进行掩模曝光及干蚀刻,形成TFT部分的a-Si图案。
  3、采用溅射成膜法形成透明电极(ITO膜),经过掩模曝光及湿法刻蚀形成显示电极图案。
  4、栅极边缘绝缘膜的接触孔图形形成采用掩模曝光及干法刻蚀。
  5、AL等溅射成膜,用掩模曝光、蚀刻,形成TFT的源极、漏极及信号线图案。 用PECVD法形成保护绝缘膜,再用掩模曝光及干法刻蚀进行绝缘膜的刻蚀成形。 (该保护膜用于保护栅极、信号线电极端部和显示电极)。

  三.在滤色器(CF )基板上形成滤色器图案的工序
  滤色器着色部分的形成方法有染料法、颜料分散法、印刷法、电沉积法、喷墨法. 目前以颜料分散法为主。
  颜料分散法是使粒子均匀微细颜料(平均粒径小于0.1 m ) r、g、b三色)分散在透明感光性树脂中. 然后,通过依次涂布、曝光、显影工艺依次形成R. G. B三色的图案。 制造中使用光刻技术,主要使用涂布、曝光、显影装置。为了防止漏光,在RGB三色边界通常加入黑矩阵(BM )。 过去多采用溅射法形成单层金属铬膜,但现在也有转变为金属铬和氧化铬复合型BM膜或在树脂中混合碳的树脂型BM。

  四.TFT显示屏液晶盒制造工艺

  在上下基板表面分别涂布聚酰亚胺膜,通过摩擦工序,形成能够将分子引导成所需排列的取向膜. 然后,在TFT显示屏阵列基板的周边涂布密封材料,在基板上散布隔板。 同时在CF基板的透明电极末端涂布银膏。 然后,将两张基板对准并粘接成TFT像素图案和CF图案一对正交,进行热处理使密封材料硬化。 印刷密封材料时,为了真空注入液晶,需要留下的注入口。

  五.TFT显示屏组装外围电路、背光等模块组装工序
  TFT显示屏的制造工序完成后,需要在面板上安装周边驱动电路,在两基板的表面粘贴偏振片。 对于透射型液晶屏,还应安装背光。
  TFT显示屏材料和技术是影响产品性能的两个主要因素,TFT-LCD经过以上四个主要工序,大量繁杂的制作技术形成了我们看到的产品。

  以上介绍的就是TFT显示屏制造工艺流程,如需了解更多,可随时联系我们!


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