TFT显示屏制造工艺流程

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【摘要】：TFT显示屏是通过什么样的制造技术在显示器上发挥着巨大的优势呢? 那么，下面一起了解下TFT显示屏制造工艺流程吧!

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TFT显示屏制造工艺流程

【概要描述】TFT显示屏是通过什么样的制造技术在显示器上发挥着巨大的优势呢? 那么，下面一起了解下TFT显示屏制造工艺流程吧!

分类：行业动态
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　　TFT显示屏是通过什么样的制造技术在显示器上发挥着巨大的优势呢? 那么，下面一起了解下TFT显示屏制造工艺流程吧!

TFT显示屏

　　一、TFT显示屏面板模块制造工艺有以下部分
　　1、在TFT基板上形成TFT阵列;
　　2、在滤色器基板上形成滤色器图案及ITO导电层;
　　3、用两片基板形成液晶单元;
　　4、外围电路的安装、背光等模块组装。

　　二.在TFT基板上形成TFT阵列工艺
　　TFT显示屏的制造工艺如下。
　　1、先在硼硅玻璃衬底上溅射栅极材料膜，通过掩模曝光、显影、干法刻蚀后形成栅极布线图形。一般的掩模曝光用光刻机。
　　2、采用PECVD法连续成膜，形成SiNx膜、未掺杂a-Si膜、磷掺杂n a-Si膜。然后，进行掩模曝光及干蚀刻，形成TFT部分的a-Si图案。
　　3、采用溅射成膜法形成透明电极(ITO膜)，经过掩模曝光及湿法刻蚀形成显示电极图案。
　　4、栅极边缘绝缘膜的接触孔图形形成采用掩模曝光及干法刻蚀。
　　5、AL等溅射成膜，用掩模曝光、蚀刻，形成TFT的源极、漏极及信号线图案。用PECVD法形成保护绝缘膜，再用掩模曝光及干法刻蚀进行绝缘膜的刻蚀成形。 (该保护膜用于保护栅极、信号线电极端部和显示电极)。

　　三.在滤色器(CF )基板上形成滤色器图案的工序
　　滤色器着色部分的形成方法有染料法、颜料分散法、印刷法、电沉积法、喷墨法. 目前以颜料分散法为主。
　　颜料分散法是使粒子均匀微细颜料(平均粒径小于0.1 m ) r、g、b三色)分散在透明感光性树脂中. 然后，通过依次涂布、曝光、显影工艺依次形成R. G. B三色的图案。制造中使用光刻技术，主要使用涂布、曝光、显影装置。为了防止漏光，在RGB三色边界通常加入黑矩阵(BM )。过去多采用溅射法形成单层金属铬膜，但现在也有转变为金属铬和氧化铬复合型BM膜或在树脂中混合碳的树脂型BM。

　　四.TFT显示屏液晶盒制造工艺

　　在上下基板表面分别涂布聚酰亚胺膜，通过摩擦工序，形成能够将分子引导成所需排列的取向膜. 然后，在TFT显示屏阵列基板的周边涂布密封材料，在基板上散布隔板。同时在CF基板的透明电极末端涂布银膏。然后，将两张基板对准并粘接成TFT像素图案和CF图案一对正交，进行热处理使密封材料硬化。印刷密封材料时，为了真空注入液晶，需要留下的注入口。

　　五.TFT显示屏组装外围电路、背光等模块组装工序
　　TFT显示屏的制造工序完成后，需要在面板上安装周边驱动电路，在两基板的表面粘贴偏振片。对于透射型液晶屏，还应安装背光。
　　TFT显示屏材料和技术是影响产品性能的两个主要因素，TFT-LCD经过以上四个主要工序，大量繁杂的制作技术形成了我们看到的产品。

　　以上介绍的就是TFT显示屏制造工艺流程，如需了解更多，可随时联系我们!